电子束枪有望简化EUV光刻机机器人网2024-08-07 15:30:03讯，荷兰国家应用科学研究院Stodolna等提出了一种能够产生氢等离子体的实验装置，以便进一步研究改进EUV光刻。之前的等离子体发生器非常复杂，需要大量资源，但该团队的装置非常简单，使用机的